O EddyCus® TF map série 5050 é uma série de dispositivos de imagem sem contacto de alta resolução para áreas de amostragem até 500 x 500 mm (20 x 20 polegadas). O dispositivo de bancada mede automaticamente em vários pontos de medição, normalmente com um passo em X e Y de 1 mm (40 milímetros) gerando mapeamentos precisos. O sistema adquire centenas de medições por segundo em voo, resultando em imagens de alta resolução contendo até 250.000 pontos de medição por amostra. Os dispositivos de bancada permitem, dependendo da sua configuração, obter imagens precisas da espessura do metal, da resistência da folha ou da anisotropia eléctrica. As imagens de propriedade resultantes proporcionam uma visão profunda da homogeneidade das camadas e da densidade de defeitos e, por conseguinte, oferecem uma base profunda para a optimização do material e do processo. As aplicações envolvem garantia de qualidade para a pulverização catódica, evaporação, ALD, CVD, galvanoplastia ou dopagem e processos de recozimento.
Destaques
Imagem sem contacto
Rápido e preciso
Imagem de alta resolução com passo de 1 mm (alternativamente 0,25 a 10 mm)
Áreas de amostragem de 500 x 500 mm (20 x 20 polegadas)
Análise avançada da uniformidade da camada e da anomoscopia
Caracterização de camadas condutoras ocultas e encapsuladas
Funções de análise integradas em software (perfis de linha, análise de histograma, análise de área selectiva, estatística)
Sistemas híbridos (por exemplo, imagens ópticas e eléctricas combinadas)
Controlo de qualidade sistemático, inspecção de entrada, inspecção de saída de mercadorias
Tipos
Os dispositivos são oferecidos com diferentes configurações de sensores utilizando sensores de corrente parasita de componentes ópticos.
Características
Tecnologia: sensor de corrente parasita sem contacto
Área de amostragem: 500 x 500 mm
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