A série EddyCus® TF em linha mede as propriedades da camada, tais como espessura da camada metálica, resistência da folha, emissividade, humidade residual ou gramagem em não contacto em vários substratos. Os substratos relevantes são vidro, folha, papel, wafer, plástico ou cerâmica. A monitorização é feita por medição permanente ou por eventos desencadeadores para obter resultados equidistantes em processos de revestimento em movimento rápido. As soluções de monitorização podem ser implementadas tanto em condições atmosféricas como de vácuo. Os processos que utilizam tecnologia de corrente parasita beneficiam de altas taxas de amostragem. Os resultados da medição podem ser fornecidos para sistemas de controlo de processos utilizando o software do cliente. Adicionalmente, SURAGUS oferece o software de monitorização EddyCus® EC Control que visualiza, armazena e analisa dados metrológicos.
Vantagens
Medição em tempo real sem contacto
Alta velocidade de medição até 1.000 medições/segundo.
Instalação de sensor fixo ou instalação de sensor transversal
Integração de 1 - 99 vias de monitorização por sistema
Controlo do processo na atmosfera ou no vácuo
As medições muito próximas da borda do substrato são possíveis em muitas aplicações
Estabilidade a longo prazo através de medições compensadas de temperatura em ambiente em mudança
Grandes distâncias para o material de teste (por exemplo, distância de 60 mm / 2,4 polegadas)
Caracterização de camadas condutoras cobertas ou substratos encapsulados
Numerosas funções de análise e estatísticas integradas por software
Fácil configuração pelo software EddyCus® RampUp incl. assistente para calibração do sistema
Desgaste - livre
Motivação para o uso da Metrologia em Linha
Controlo do processo e garantia de qualidade
Optimização do tempo de processo
Utilização da máquina
Utilização de material
Produtividade
Melhoria do desempenho do produto
---