O RSP3 complementa o apalpador RSP2, possibilitando ao sistema REVO o escaneamento 3D (x,y,z) e operação com pontas em L. É utilizado para o escaneamento 3D, tal como com um ângulo fixo do cabeçote REVO durante a medição. Esta série de apalpadores RSP3 pode utilizar pontas com diferentes comprimentos, enquanto mantém desempenho metrológico ideal.