A topografia de superfície e a análise e visualização do movimento dinâmico são fundamentais para testar e desenvolver microestruturas como os dispositivos MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). São indispensáveis para validar cálculos de FE, determinar efeitos de conversação cruzada e medir deformações superficiais. O MSA-600 Micro System Analyzer é a estação de trabalho de medição óptica tudo-em-um para caracterizar a topografia de superfície, bem como os movimentos dentro e fora do plano.
As versões MSA-600-M/V cobrem gamas de frequência até 25 MHz, ideais para MEMS, microfones MEMS e outros microssistemas. As versões MSA-600-X/U cobrem a gama de frequências altas e muito altas até 2,5 GHz, perfeitas para a avaliação de ressonadores HF MEMS, dispositivos micro-acústicos como SAW, BAW e mais.
Destaques
Estação de trabalho de medição óptica tudo-em-um para microestruturas
Medição da resposta em tempo real (não é necessário pós-processamento)
Versões MSA-600-M/V com até 25 MHz
Versões MSA-600-X/U com até 2,5 GHz
Resolução de deslocamento de subpm sem paralelo
Medição rápida e visualização de formas de deflexão
Operação simples e intuitiva
Sistema automatizado para fácil integração em estações de sonda
Opções de importação/exportação para validação do modelo FE
O Micro System Analyzer MSA-600 proporciona maior flexibilidade e precisão de medição, adaptando-se às necessidades das microestruturas de hoje e de amanhã. O Micro System Analyzer fornece dados dinâmicos e estáticos 3D precisos que aumentam o desempenho do dispositivo ao mesmo tempo que reduzem os custos de desenvolvimento e fabrico. Assim, melhora e encurta os ciclos de concepção, simplifica a resolução de problemas e melhora o rendimento.
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