Analisador de materiais MSA-650 IRIS

de pressãode bancadapara aeronáutica

A caracterização dinâmica dos dispositivos MEMS para medir e visualizar a resposta mecânica é importante para o desenvolvimento de produtos, resolução de problemas e validação de modelos FE. Os analisadores MSA Micro System Analyzers da Polytec fornecem medições ópticas rápidas e precisas de movimento fora do plano (OOP) e dentro do plano (IP). Até agora, isto tem sido limitado a dispositivos desempacotados que são opticamente acessíveis. Agora, o Polytec MSA-650 IRIS Micro System Anlayzer da Polytec permite até medições através de tampas de silicone intactas em microestruturas encapsuladas como, por exemplo, sensores interciais, microfones MEMS, sensores de pressão e muito mais. Destaques Capacidade de IR para medir a dinâmica MEMS através de diferentes camadas de dispositivos Si-capped Medição da resposta fora do plano em tempo real até 25 MHz (sem pós-processamento) Resolução de deslocamento fora do plano do sub-picómetro Validação directa do modelo FE de MEMS em estado final Separação superior das camadas individuais do dispositivo Microscópio de vídeo estroboscópico para medir movimentos no plano até 2,5 MHz Sistema automatizado que se integra bem para a produção (compatibilidade de estação de sonda) A solução de medição chave na mão MSA-650 IRIS compreende um controlador, um gerador de funções com canais de referência adicionais, um potente conjunto de software de leitura óptica e uma cabeça de sensor óptico com um design óptico sofisticado IR-optical. Com a sua câmara IR dedicada e uma fonte SLD de baixa coerência, é o principal sistema de medição de vibração de campo completo para captar camadas inteiras de amostras através de tampas de silicone em condições de funcionamento. Esta tecnologia patenteada de interferómetro proporciona uma excelente qualidade de dados devido à separação superior das camadas individuais do dispositivo.