Características de projeto
linha central da varredura do Ar-rolamento; linha central da etapa do mecânico-rolamento
Linha central linear-motor-conduzida dupla da etapa
Curso a 1,2 medidores por 1,2 medidores
Codificador linear ou feedback do interferômetro do laser
O AHL9000 é a adição a mais atrasada à família de Aerotech de fases do ar-rolamento e é uma escolha excelente para as aplicações que exigem o equilíbrio cuidadoso do preço e do desempenho. Esta fase foi projetada para as aplicações de exigência que exigem o desempenho excelente da etapa e da varredura. As aplicações incluem a inspeção da bolacha, a fabricação do tela plano e inspeção e fabricação óticas.
Projeto do Híbrido-rolamento
A linha central da varredura de AHL9000 foi projetada usando a tecnologia provada do ar-rolamento desenvolvida para o rolamento de ar ABL9000 planar. Esta linha central usa o preload ativo nas superfícies verticais e horizontais a fim fornecer a rigidez proeminente e o desempenho dinâmico. O AHL9000 igualmente aproveita-se da rentabilidade de uma linha central de carregamento mecânica da etapa. A combinação destas duas tecnologias de carregamento em uma fase fornece um sistema que seja aperfeiçoado para a operação da etapa e de varredura.
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