Características de projeto
Preload completo em todos os machados
Machados linear-motor-conduzidos duplos de Y
Curso a 1,2 medidores por 1,2 medidores
Codificador linear ou feedback do interferômetro do laser
Controle de guinada ativo
Aerotech tem uma longa história da engenharia e de fabricar os sistemas do movimento do desempenho o mais alto do mundo endereçar diretamente as necessidades chaves da aplicação dos nossos clientes. Estes esforços ajudaram a permitir as tecnologias chaves em uma multidão de indústrias que incluem o semicondutor, médica, e militar/aeroespacial. Estas história e experiência extensivas culminaram no desenvolvimento da plataforma do movimento do ar-rolamento ABL9000. Projetou cumprir as exigências exigentes da bolacha, tela plano, e a inspeção e a fabricação óticas, o ABL9000 ajustam padrões de desempenho novos.
Projeto do Ar-rolamento
O ABL9000 incorpora um preload ativo em superfícies verticais e horizontais. A pressão de fita fina de oposição mantém a tolerância nominal de carregamento da diferença. Este projeto, além do que a grande superfície do ar-rolamento que distribui a carga sobre uma grande área de superfície, resultados em uma fase com rigidez proeminente que é ideal para a carga pesada ou do offset.
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