Características de projeto
Grande abertura clara
Preload completo em todos os machados
Machados linear-motor-conduzidos duplos de X e de Y
Codificador linear Noncontact para a precisão alta
ABL3600 a duplo-linha central, grande abertura, aberto-quadro, fase do ar-rolamento endereça as necessidades originais de microscopia de varredura e de inspeção da máscara e da bolacha.
Projeto e construção
A combinação de rolamentos de ar da rigidez alta e de machados linear-motor-conduzidos duplos fornece uma fase XY do aberto-quadro as características de desempenho excepcionais. O ABL3600 representa uma elevação principal no desempenho sobre fases de carregamento mecânicas tradicionais do aberto-quadro.
Como com todos os sistemas do ar-rolamento de Aerotech, as técnicas de fabricação proprietárias são usadas para produzir fases com as características geométricas absolutos que incluem a retidão, o nivelamento, o passo, o rolo e a guinada. O ABL3600 é fabricado na instalação de produção avançada de Aerotech e feito à máquina com exigência das tolerâncias que são unachievable por métodos convencionais.
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