Características de projeto
Fase XY integrada do motor linear do perfil baixo
desempenho do Nanômetro-nível em um grande formato do curso
Alta resolução (1 nanômetro), repetibilidade (75 nanômetro), e precisão (250 nanômetro)
estabilidade da Em-posição de <1 nanômetro
rolamentos do cruzar-rolo do Anti-rastejamento
Desempenho dinâmico alto com tecnologia da direto-movimentação
ULTRA opção da categoria do desempenho
Introdução
As fases da série de ANT130XY oferecem a desempenho do nanômetro-nível em cursos XY até 160 milímetros. O projeto integrado, lustroso fornece extremamente - um perfil baixo de somente 85 milímetros. A fase vem com tecnologia proprietária do motor da direto-movimentação, os codificadores lineares noncontact, os limites, sistema de gestão de cabo integrado, e três categorias do desempenho.
Projeto Ultra-preciso da fase
O projeto de ANT130XY permite elementos críticos tais como a ortogonalidade, a retidão, e o nivelamento a ser aperfeiçoado, tendo por resultado uma fase com tolerâncias geométricas excepcionais. A tecnologia da direto-movimentação de Aerotech não tem nenhuma histerese ou folga, permitindo o movimento exato e repetível da nanômetro-escala nas dimensões de X e de Y. Todas as opções do curso (60 milímetros x 60 milímetros, 110 milímetros x 110 milímetros, 160 milímetros x 160 milímetros) vêm com a altura de um perfil de 85 milímetros. O sistema de gestão de cabo integrado é projetado para a longa vida e para minimizar forças de arrasto
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