Características de projeto
Fase compacta com cursos a 100 milímetros
codificador linear da vidro-escala Baixo-térmica da expansão
movimentação do fuso atuador da Precisão-terra
Motor servo ou deslizante da C.C.
rolamentos do cruzar-rolo do Anti-rastejamento
Alta resolução (0,025 µm), repetibilidade (µm ±0.1) e precisão (µm ±0.75)
Waycovers opcionais dos foles
Configurações compactas da multi-linha central
O MPS75SLE de Aerotech é uma fase de posicionamento linear compacta, de capacidade elevada que oferece os benefícios do feedback da medida direta através de um codificador linear. O MPS75SLE é a fase ideal da alto-precisão para aplicações nos sistemas óticos que posicionam, no posicionamento da z-linha central dos sensores na metrologia de superfície, ou no alinhamento da elevada precisão. as configurações da fase da Multi-linha central podem facilmente ser montadas com outros PM lineares e fases giratórias usando a multidão de suportes do adaptador e montando a compatibilidade inerente na família inteira da fase dos PM.
Projeto Ultra-preciso
A terra da precisão, o fuso atuador preloaded acoplado com o codificador linear para fornecer a precisão proeminente, a repetibilidade e uma capacidade de posicionamento da definição a 25 nanômetro. Os rolamentos do cruzar-rolo do anti-rastejamento fornecem a capacidade excepcionalmente lisa do curso e da alto-carga em um pacote compacto.
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