Características de projeto
desempenho do Nanômetro-nível em um grande formato do curso
Alta resolução (1 nanômetro), repetibilidade (75 nanômetro) e precisão (250 nanômetro)
estabilidade da Em-posição de <1 nanômetro
rolamentos do cruzar-rolo do Anti-rastejamento
Desempenho dinâmico alto
Grande seleção - 8 modelos no curso e na precisão
As fases da série de ANT130L oferecem a desempenho do nanômetro-nível nos cursos até 160 milímetros. Com seus perfil baixo e características de desempenho proeminentes, o ANT130L é a solução final para o alinhamento da alto-precisão, a inspeção, o posicionamento, e as estações da medida.
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