レーザー分析装置

MEMS デバイスの動的特性を測定し、機械的な応答を可視化することは、製品開発やトラブルシューティング、FE モデルの検証において重要です。ポリテックの MSA マイクロシステム アナライザは、面外振動 （OOP） や面内振動 （IP） を高速かつ正確に非接触で測定します。これまでは、光学的にアクセス可能な梱包されていないデバイスに限られていました。しかし、ポリテックの MSA-650 IRIS マイクロシステムアナライザでは、慣性センサ、MEMS マイクロフォン、圧力センサなど、カプセル化されたマイクロデバイスのシリコンキャップを透過して測定することができます。 特長 Siキャップデバイスの異なる層を通してMEMSダイナミクスを測定するIR機能 25MHzまでの面外応答をリアルタイムに測定（後処理なし） サブピコメートルの面外変位分解能 最終状態にあるMEMSの単純明快なFEモデル検証 デバイスの各層の優れた分離性 2.5MHzまでの面内運動を測定するストロボビデオ顕微鏡 生産現場に適した自動化システム（プローブステーション対応） MSA-650 ...

MSA-600マイクロシステムアナライザは、MEMSモジュールおよびマイクロ構造の静的および動的3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。 このマイクロシステムアナライザーは、スキャニングレーザドップラ振動計、ストロボスコープビデオ顕微鏡、および白色光干渉計を備えた顕微鏡レンズを組み込むことにより、振動微細構造およびその形状を幅広く分析するのに理想的なオールインワンソリューションを提供します。共振周波数を迅速に特定し、関連する振動形状を可視化することができます。過渡現象でさえも高い信頼性をもって明確に可視化できます。 MSA-600-M ...

実際の物体の振動は通常3次元です。3つの空間方向のうち最も支配的な振動方向はありますが、他の方向の微小な振動成分が製品の公差やその他に影響することがあります。 MSA-100-3Dマイクロシステムアナライザを使用すると、広い周波数帯域幅におけるサンプルの動的動作をリアルタイムに分析できます。 3つの空間方向すべての振動成分が、サブピコメートルの高い変位分解能で同時に測定され、統合データとして記録、分析されます。 特長 最大25MHzの高周波数帯域におけるリアルタイム振動測定 サブピコメートルの変位分解能を実現する面外および面内振動測定 シングルポイント測定とスキャニング測定の両方が可能 高い平面分解能を実現する4μm以下の小さなレーザースポット 38 ...

ポリテックの顕微鏡型レーザドップラ振動計 MSA-050 マイクロシステム アナライザは、小型の部品やマイクロシステムの振動を、表面全体にわたって高精度に測定することができます。非接触・非侵襲的に詳細な評価を行うことができるため、小さなサンプルの真の振動ダイナミクスを完全に歪みなく捉えることができます。MSA-050 をコントロールするポリテックのスキャニング振動計用ソフトウェアは、直感的でシンプルな操作性を実現しています。 特長 最大2MHzの高分解能振動解析 非接触かつ高速測定 PSVソフトウェアによる簡単な操作 測定結果のアニ MSA-050は、デジタルシングルポイント振動計を備えたコンパクトなテーブルトップスタンドで構成されています。またスキャニング振動測定用に電動テーブルが装備でき専用のソフトウェアを使用してレーザスポットの移動およびスキャンを実行します。 ...