EddyCus® TF map 5050 シリーズは、最大 500 x 500 mm (20 x 20 inch) までのエリアをサンプリングできる高解像度非接触イメージング装置シリーズです。このベンチトップ型装置は、通常XとYのピッチが1mm(40mil)の様々な測定ポイントで自動的に測定を行い、正確なマッピングを生成します。このシステムは、1秒間に数百の測定値をオンザフライで取得し、1試料あたり最大25万点の測定点を含む高解像度画像を生成します。このベンチトップ型装置では、金属の厚み、シート抵抗、電気異方性などの精密なイメージングを行うことができます。得られた特性画像は、層の均一性と欠陥密度に関する深い洞察をもたらし、それ故に材料とプロセスの最適化のための深い基礎を提供します。スパッタリング、蒸着、ALD、CVD、電気めっき、ドーピング、アニーリングプロセスの品質保証に使用されます。
ハイライト
非接触イメージング
高速かつ高精度
1mmピッチの高解像度イメージング(0.25~10mmピッチも可)
500 x 500 mm (20 x 20 インチ) のサンプリングエリア
高度な層均一性解析と欠陥検査
隠れた導電層やカプセル化された導電層の特性評価
ソフトウェアに統合された高度な解析機能(ラインプロファイル、ヒストグラム解析、選択的領域解析、統計解析)
ハイブリッドシステム(電気と光学の複合画像処理など)
システム化された品質管理、受入検査、出荷検査
種類
光学部品の渦電流センサーを用いた様々なセンサー構成のデバイスを提供します。
特徴
技術:非接触型渦電流センサー
サンプリングエリア500 x 500 mm
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