EddyCus® TF map 2530シリーズは、最大300 x 300 mm² (12 x 12インチ)までの大型サンプルのシート抵抗を非接触で自動測定します。試料を手動でセットすると、自動的に測定が行われ、試料エリア全体のシート抵抗の正確なマッピングが表示されます。測定設定は、1分以下の高速測定と10万点以上の高空間測定分解能を簡単かつ柔軟に選択することができます。
ハイライト
非接触
高速かつ高精度な測定
導電性薄膜の高分解能マッピング
最大300 x 300 mm (12 x 12インチ) の基板をイメージング
隠れた導電層や封止された導電層の特性評価も可能
各種ソフトウェアによる解析機能(シート抵抗分布、ラインスキャン、シングルポイント解析など)。
測定データの保存、エクスポート機能
欠陥検出、コーティング解析
種類
デバイスプラットフォームは、電気的特性評価用の渦電流センサーや光学的特性評価用のセンサーなど、さまざまなセンサー構成で利用可能です。測定構成のバリエーションには、以下のオプションがあります。
特性
技術:非接触式渦電流
マルチポイントマッピングによる画像化
位置決め領域300mm x 300mm
サンプリングエリア300mm x 300mm
推奨サンプルサイズ1インチ~12インチまたは25mm~300mm
ソフトウェアとデバイスコントロール
非常に使いやすいソフトウェア
リアルタイムマッピング測定
使いやすい統計解析オプション
測定および製品レシピの事前定義(サイズ、ピッチ、閾値)
ラインスキャン、ヒストグラム、エリア分析
黒と色の画像コーディング
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