EddyCus TF dep(デプスプロファイラ)は、10 kHz~100 MHzの周波数を利用するユニークな工業用渦電流測定装置で、平板試料の特性評価に特化しています。測定周波数を変化させることで、浸透深度を制御することができます。高周波での測定は、バルク材や薄膜の表面近傍の材料特性を評価するのに有効です。また、測定周波数が高くなるにつれて感度が高くなります。したがって、非常に低い導電性の材料や層の特性評価も可能です。さらに、この装置では、複数の周波数測定を利用して深さ方向のプロファイルを生成することができます。測定パラメータは、導電率および関連する特性です。
アプリケーションとセットアップ
異なる浸透深度のバルク材料の導電性試験
材料の選別
非導電性材料上の導電性層の金属層厚み測定
導電性材料上の塗膜厚測定(リフトオフ
高導電性材料や低導電性材料の表面近傍の薄い層における硬度や微細構造などの材料特性の特性評価
システムの特徴
測定タスク(浸透深さ、スポットサイズ、感度)に応じてカスタマイズされたセンサー統合
測定領域: 200 x 200 mm、中央部での測定が可能
試料の位置決め支援
データトラッキングとデータエクスポートのためのユーザーフレンドリーなソフトウェア
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