コーティング厚み測定装置 EddyCus® TF inline

ガラス非接触式航空用

EddyCus® TFインラインシリーズは、金属層の厚み、シート抵抗、放射率、残留水分量、グラム数などの層特性を、様々な基板上で非接触に測定します。対象となる基板は、ガラス、ホイル、紙、ウェハ、プラスチック、セラミックです。モニタリングは常時測定、またはトリガーイベントによって行われ、高速で移動するコーティングプロセスで均等な結果を得ることができます。モニタリングソリューションは、大気中または真空中のいずれでも実施可能です。渦電流技術を使用したプロセスでは、高いサンプルレートが得られます。測定結果は、お客様のソフトウェアを使用したプロセス制御システムに提供することができます。さらにSURAGUSは、測定データの可視化、保存、分析を行うモニタリングソフトウェアEddyCus® EC Controlを提供しています。 利点 非接触のリアルタイム測定 最大1,000回/秒の高速測定。 固定センサーまたはトラバース式センサーの設置が可能 1～99のモニタリングレーンをシステムごとに統合可能 大気中または真空中のプロセス制御 多くのアプリケーションで、基板端に極めて近い位置での測定が可能 変化する環境下での温度補正測定による長期安定性 被測定物までの距離が長い（例：60 mm / 2.4 inchのギャップ） 被覆された導電層や封止された基板の特性評価 ソフトウェアに統合された多数の解析・統計機能 EddyCus® RampUpソフトウェアによる簡単セットアップ（システムキャリブレーション用ウィザードを含む 磨耗がない インライン計測を使用する理由 プロセス制御と品質保証 プロセス時間の最適化 機械稼働率 材料使用量 生産性向上 製品性能の向上