EddyCus® TF map 2525シリーズは、最大250 x 250 mm²(10 x 10インチ)のサンプルの特性を非接触で自動的に画像化します。手動でサンプルを配置すると、自動的にサンプル全体の特性分布を測定・表示します。測定設定により、1分以下の高速測定や、1サンプルあたり50,000点以上の高い空間測定分解能を簡単かつ柔軟に選択することができます。結果として得られるマッピングは、透明層や非透明層、ウェハやメタルシートの均質性や品質を正しく把握することができます。ベンチトップ型の装置では、セットアップ次第で、シート抵抗、金属の厚さ、光学的透明度を正確にイメージングすることができます。
ハイライト
非接触
高速かつ正確な測定
導電性薄膜の高解像度マッピング
最大250 x 250 mm(10 x 10インチ)の基板のイメージング
欠陥検出とコーティング解析
隠れた導電層や封止された導電層も含めた特性評価
ソフトウェアによる多彩な解析機能(シート抵抗分布、ラインスキャン、シングルポイント解析など)を搭載
測定データの保存とエクスポート機能
タイプ
デバイス・プラットフォームは、電気的特性評価用の渦電流センサや光学的特性評価用のセンサなど、さまざまなセンサ構成で利用できます。測定構成のバリエーションには、以下のようなオプションがあります。
特徴
技術:非接触型渦電流
マルチポイント・マッピングによるイメージング
薄層の均一性コントロール
品質管理、入出庫管理
ポジショニングエリア300 mm x 270 mm
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