材料分析装置 MSA-600

卓上型航空用光学式

MSA-600マイクロシステムアナライザは、MEMSモジュールおよびマイクロ構造の静的および動的3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。 このマイクロシステムアナライザーは、スキャニングレーザドップラ振動計、ストロボスコープビデオ顕微鏡、および白色光干渉計を備えた顕微鏡レンズを組み込むことにより、振動微細構造およびその形状を幅広く分析するのに理想的なオールインワンソリューションを提供します。共振周波数を迅速に特定し、関連する振動形状を可視化することができます。過渡現象でさえも高い信頼性をもって明確に可視化できます。 MSA-600-M / Vは最大25MHzの周波数範囲をカバーし、MEMS、MEMSマイクロフォンおよびその他のマイクロシステムに最適です。 MSA-600-X / Uは、最大2.5 GHzの高周波数範囲と超高周波数範囲をカバーし、HF MEMS共振器、SAW、BAWなどのマイクロ音響デバイスの評価に最適です 特長 マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション リアルタイム測定（後処理不要） 測定周波数帯域 最大25MHz（MSA-600-M / V） 測定周波数帯域 最大2.5 GHz（MSA-600-X / U） サブピコメートル変位分解能 振動形状のすばやい測定と可視化 直観的かつ直感的な操作 MEMSプローブステーションとの統合が容易 FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション 広帯域で加振すると、コンポーネントに関する事前情報を必要とせずに、単一パスですべての機械的共振（面内および面外）を迅速に識別できます。 そこで高感度スキャニングレーザドップラ振動計を使用して、フルフィールドスキャンを実行すれば、25 MHzまでの帯域幅で構造ダイナミクス（面外）の測定結果を得ることができます。 面内振動については、ストロボスコープビデオ顕微鏡を使用すれば測定可能です。 一般的なプローブステーションと互換性のあるマイクロシステムアナライザは、MEMSの試作品作成から測定およびトラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階で利用でき、生産コストを削減し、市場投入までの時間を短縮します