材料分析装置 MSA-100-3D

卓上型航空用レーザー

実際の物体の振動は通常3次元です。3つの空間方向のうち最も支配的な振動方向はありますが、他の方向の微小な振動成分が製品の公差やその他に影響することがあります。 MSA-100-3Dマイクロシステムアナライザを使用すると、広い周波数帯域幅におけるサンプルの動的動作をリアルタイムに分析できます。 3つの空間方向すべての振動成分が、サブピコメートルの高い変位分解能で同時に測定され、統合データとして記録、分析されます。 特長 最大25MHzの高周波数帯域におけるリアルタイム振動測定 サブピコメートルの変位分解能を実現する面外および面内振動測定 シングルポイント測定とスキャニング測定の両方が可能 高い平面分解能を実現する4μm以下の小さなレーザースポット 38 mmの長い測定距離 一般的なMEMSプローブステーションとの互換性 ポリテックの 顕微鏡型レーザドップラ振動計 MSA-100-3D は、微小なレーザスポットによる高い水平方向の空間分解能と、最大 25 MHz の測定周波数帯域を備えており、微小電気機械式センサ（MEMS）やアクチュエータ 、その他の微小構造物、生体試料の特性評価に最適な測定システムです。MSA-100-3D では、ソフトウェアがサンプルをスキャンし、その振動モードをグラフィカルに表示することで、サンプルの全面的な特性評価を行うことができます。