コンパクトなシステムで、ビデオ測定の頂点を極める。ニコンの優れた光学系により、視野全域で高い精度と再現性が得られ、測定スピードが向上します。VMZ-6555は、650×550×200(X×Y×Z)mmのストロークを持ち、小型の半導体、電子部品、機械部品の測定に適しています。
自動車産業のフルEV化に伴う自動運転車のセンサー技術の発展に伴い、必要とされる電子部品や搭載される部品点数が大幅に増加しています。これらの重要部品には厳しい品質管理が要求されるため、現場の測定器に対する期待はますます高まっています。
ニコンは、このような難易度の高いアプリケーションの測定に適した「NEXIV VMZ-S」シリーズを提供します。
FOV(PF2D,PFV2D)内の精度を保証します。ニコンが設計した光学系は、高画質と高精度な測定データを実現します。
プロービングエラー* PF2D0.8µm
2型ズームヘッド。ニコン独自の測定方法によるもの。円形の基準装置の外周を測定。ステージを移動させ、FOV内にあるビデオキャリパーツールを外周の25点に均等に配置する。
イメージングプローブのプロービングエラー* PFV2D 0.3 µm
*2型ズームレンズヘッド。ニコン社内の測定方法で決定。画面上の1ヶ所にある円形の基準装置の外周に均等に配置された25点を測定(ステージ移動なし)。
短距離ステージ移動の高速化を実現し、スループットを向上させました。測定時間の短縮に貢献します。
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