自動車業界では、フルEV化に伴う自動運転車のセンサー技術の発展に伴い、電子部品の必要数、搭載数が大幅に増加しています。これらの重要部品には厳しい品質管理が要求され、現場の測定器に対する期待はますます高まっています。
ニコンは、このような難易度の高いアプリケーションの測定に適した「NEXIV VMZ-S」シリーズを提供します。
FOV(PF2D,PFV2D)内の精度を保証します。ニコンが設計した光学系は、高画質と高精度な測定データを実現します。
プロービングエラー* PF2D0.8µm
2型ズームヘッド。ニコン独自の測定方法によるもの。円形の基準装置の外周を測定。ステージを移動させ、FOV内にあるビデオキャリパーツールを外周の25点に均等に配置する。
イメージングプローブのプロービングエラー* PFV2D 0.3 µm
*2型ズームレンズヘッド。ニコン社内の測定方法で決定。画面上の1ヶ所にある円形の基準装置の外周に均等に配置された25点を測定(ステージ移動なし)。
短距離ステージ移動の高速化を実現し、スループットを向上させました。測定時間の短縮に貢献します。
また、外観デザインの変更に伴い、ステージや光学ヘッドの移動に使用するジョイスティックのデザインを変更し、機械操作がしやすく、長時間の使用でも疲れないように配慮しています。
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