高精度非接触測定システム
測定範囲全体(0,05mm~10mm)で直線性±0,5μm、狭範囲では±(0,3+0,1ΔD)μmという超高精度を提供します。
0,04μmの超高精度な繰り返し精度。
3200スキャン/秒の高走査速度
分解能
(選択可能)です。
0,00001 - 0,01 mm
20℃における直線性 *¹:
全範囲 :
± 0.5μm以下
狭い範囲 :
±(0,3+0,1ΔD) μm
位置決め誤差 *²:
±0.5 μm
測定領域
2×10mm (ø0,05-0,1mm)
4 x 10 mm (ø0,1-10 mm)
レーザーの波長
650nm、可視光
スキャン速度
3200スキャン/秒
スキャン速度
113m/s
適用されるレーザー規格
IEC、FDA
繰り返し精度(±2ơ):
±0,04 μm
インチ-メートル
メートル
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