高精度非接触測定システム
測定範囲はφ5μmから。
全測定範囲(5μm~2mm)で直線性±0.3μmの超高精度を実現。
繰り返し精度±0.03μmという超高精度。
3200スキャン/秒の高速スキャン
分解能
(選択可能):
0,00001-0,01 mm
20℃における直線性 *¹:
±0.3 μm
位置決め誤差 *²:
±0.4 μm
測定領域
1×2mm
レーザーの波長
650nm、可視光
スキャン速度
3200スキャン/秒
スキャン速度
76m/s
適用されるレーザー規格
IEC、FDA
繰り返し精度(±2ơ)。
±0.03 μm
インチ-メートル
メートル
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