UMAP (Ultra Micro and Accurate Probe) は、微小形状測定システムです。
UMAPは、以下のようなメリットを提供します。
1 台の装置で高精度接触・非接触測定の 2 つの機能を実現。
接触式(マイクロスタイラスUMAPプローブ)および非接触式(ビジョンプローブ)の測定プローブが搭載されています。
を搭載しています。
今まで届かなかった部品の微小形状を測定することができます。
マイクロスタイラスは15μmから300μmまで数種類の直径を用意しています。
タイプです。
ハイパーUMAP302 2型
精度(2)。
E1(x,y) = (0.8+0.2L/100) μm
E1(Z) = (1.5+0.2L/100) μm
繰り返し精度(σ)。
- UMAP 101/103/107 : 0.1 μm
- UMAP 110/130 : 0.15 μm
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