ディスプレイなし加速度計 MS1000L

単軸MEMS静電容量式

MS1000L」は、高安定性を実現するために特別に設計されたバルクマイクロマシニングシリコン素子を用いたMEMS容量型加速度センサーです。 本製品は、低消費電力、完全な校正、6000gまでの堅牢性、極めて安定した性能を備えています。 MS1000Lは、コスト、性能、信頼性のバランスに優れた、輸出自由度の高い製品です。 特徴 インランバイアス安定性（アラン分散@10秒）：15μg（10g、typ） 低ノイズ：34μg / √Hz（10gレンジ） 極めて高い堅牢性：6000gまで対応 -55℃～+125℃ リニアバイアス スペック フルスケール加速度：最大±100g バイアス温度係数： +/- 5 mg /°C 帯域内ノイズ：フルスケールの3.5ppm/√Hz インランバイアス安定性 (Allan Var.@10s）。 1.フルスケールの5ppm 動作時消費電力。10mW 動作温度：-40℃～＋125℃。 サイズ：9×9mm2 アドバンテッジ セルフテスト機能搭載 内蔵のセルフテストモードは、機器の出力（OUTP & OUTN）に矩形波信号を発生させ、機器の故障検出に利用することができます。システム障害を未然に防ぐのに有効です。