微小・微細な電子部品などに施されたナノオーダーレベルのめっき膜厚測定に対し、ポリキャピラリ光学系と高性能半導体検出器を搭載し、高精度・高スループットを実現した蛍光X線膜厚計最新モデルです。
約30 μmφに高輝度な1次X線を照射し高精度測定を実現しました。
検出器系に高性能半導体検出器(SDD)を採用
高計数率半導体検出器(SDD)で高精度測定を実現しています。
画像処理ソフトによる自動測定アシスト機能
正確な多点自動測定による高効率化を実現しています。
シンプルなソフトデザインとヘルプ機能で簡便操作
日々のルーチン測定は、登録したアプリを用いて簡単に行うことができます。
作業者の安全・安心に配慮した装置デザイン
X線漏洩のリスクが非常に少ない密閉型筐体を採用しています。また、扉開口部を大きくし、試料の視認性や操作性を追求しました。