設計特微
Air-bearingスキャン軸線;機械軸受けステップ軸線
二重線形モーター主導のステップ軸線
1.2メートル1.2メートルへの旅行
線形エンコーダーかレーザーの干渉計のフィードバック
AHL9000はAerotechのair-bearingの段階の系列へ最も最近の付加、価格および性能の注意深いバランスをとることを要求する適用のための優秀な選択である。この段階は優秀なステップおよびスキャン性能を要求する要求の適用のために設計されていた。適用はウエファーの点検、フラット パネル ディスプレイの製造業および光学点検および製作含んでいる。
雑種軸受け設計
AHL9000スキャン軸線はABL9000平面の空気軸受けのために開発された証明されたair-bearingの技術を使用して設計されていた。この軸線は顕著な剛さおよび動的パフォーマンスを提供するために縦および横の表面の活動的な前荷を使用する。AHL9000はまた機械忍耐のステップ軸線の費用効果を利用する。1つの段階のこれら二つの忍耐の技術の組合せはステップおよび走査操作のために最大限に活用されるシステムを提供する。
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