設計特微
すべての斧の完全な前荷
二重線形モーター主導のY軸
1.2メートル1.2メートルへの旅行
線形エンコーダーかレーザーの干渉計のフィードバック
活動的なヨーイング制御
Aerotechに工学および世界で高性能の動きシステムを製造することの長い歴史が直接私達の顧客の主適用必要性に対応するある。これらの努力はおよび軍/宇宙航空多数の半導体を含む企業の主要な技術を可能にするのを医学助けた。この広範な歴史および経験はABL9000 air-bearingの動きのプラットホームの開発で絶頂に達した。ウエファー、フラット パネル ディスプレイの厳しい条件を満たすように設計し光学点検および製作は、ABL9000性能の新しい標準を置く。
Air-Bearingの設計
ABL9000は縦および横の表面の活動的な前荷を組み込む。反対の薄膜圧力は忍耐のわずかなギャップの許容を維持する。大きい表面積上の負荷を配る大きいair-bearingの表面に加えるこの設計、重いまたはオフセット ローディングにとって理想的である顕著な剛さの段階の結果。
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