設計特微
大きく、明確な開き
100つのmm Xからの旅行範囲100つのmmから400のmm x 400 mm
高性能直線運動ガイド
15のアークの秒の直交性
高精度のための無接触線形エンコーダー
強い高精度ののための要求オープン フレームの段階はATS3600に応じられる。この二重軸線、大きい開き、オープン フレームの段階はスキャン顕微鏡検査、ウエファーおよびプリント基板の点検および自動化されたアセンブリの独特な必要性に対応する。
設計および構造
複数の分離した部分から組み立てられる他の設計とは違って、ATS3600はスリー ピースの設計である。これは例外的で幾何学的な許容および固有の直交性の段階に終って最初の機械化の間に、制御されるべき直交性、直線性および平坦のような重大な部品を可能にする。
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