設計特微
、統合される、X-Y控えめ、線形モーター段階
優秀で幾何学的な性能(±0.4 µmへの直線性;±1 µmへの平坦)
反クリープ、精密交差ローラー軸受け
大きい選択–旅行および正確さの9つのモデル
AerotechのPlanarDLシリーズ段階は密集した、控えめなパッケージの優秀で幾何学的な、動的パフォーマンスを提供する。いろいろな旅行および性能の選択は表面のプロフィル測定からLEDのウエファーのけがきまで及ぶ適用のためのこの段階の理想を作る。
優秀な段階の設計
PlanarDLのX-Y設計は動きの直線性そして平坦が重大である適用のindustry-leading平面の幾何学的な性能を可能にする。高精度の反クリープの交差ローラー軸受け、精密機械で造られた表面および例外的で幾何学的な許容の位置の段階の斧の中心の剛さの結果によって運転するAerotechのリニア モーター。
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