設計特微
統合された控えめなX-Yリニア モーターの段階
大きい旅行フォーマットのナノメーター レベルの性能
高リゾリューション(1 nm)、反復性(75 nm)、および正確さ(250 nm)
<1 nmの内部位置の安定性
反クリープの交差ローラー軸受け
直接ドライブ技術の高い動的パフォーマンス
超性能の等級の選択
導入
ANT130XYシリーズ段階はX-Y旅行のナノメーター レベルの性能に160までのmmを提供する。統合された、なめらかな設計は85のmmだけの極端に低いプロフィールを提供する。段階は専有直接ドライブ モーター技術、無接触線形エンコーダー、限界、統合されたケーブルの管理システムおよび3つの性能の等級と来る。
Ultra-Precise段階の設計
ANT130XYの設計は直交性、例外的で幾何学的な許容の段階に終って、最大限に活用されるべき直線性および平坦のような重要な要素を可能にする。Aerotechの直接ドライブ技術にXおよびY次元両方でヒステリシスかバックラッシュがあり、正確で、反復可能なナノメーター スケールの動きを可能にする。すべての旅行選択(60のmm x 60のmm、110のmm x 110のmm、160のmm X 160のmm)は85のmmのプロフィールの高さと来る。統合されたケーブルの管理システムは長い生命の間抗力力を最小にするために設計され、
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