設計特微
システムに耐える長い生命直線運動ガイド
Ultra-fine決断
必要なふいごのwaycovers
控えめなコンパクト デザイン
ブラシレス、slotlessモーターを含んでいる
ATS100シリーズmotor-driven線形段階は半導体ウエハーのテストにおよび製作必要な高リゾリューションおよび反復性自動化された顕微鏡の検査システムおよび精密micromachining適用提供する。
顕著な構造の特徴
ATS100シリーズ段階は特別な鋳造アルミの合金から高強さ-に重量の比率および長期にわたる安定性--を提供するために機械で造られる。基盤は例外的な剛さおよび安定性を提供する箱の設計である。
ATS100シリーズ段階は精密地面の球ねじを前もって積んだバックラッシュを除去するために用いナットは汚染を防ぎ、段階の生命中の高精度維持するワイパーを備えている。良質の、前もって積まれた複式アパート軸受けが軸演劇を除去するのに使用されている。
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