設計特微
100つのmmへの旅行の密集した段階
低熱拡張のガラス スケールの線形エンコーダー
精密地面のball-screwドライブ
DCのサーボかステッピング モーター
反クリープの交差ローラー軸受け
高リゾリューション(0.025のµm)、反復性(±0.1 µm)および正確さ(±0.75 µm)
任意ふいごのwaycovers
密集したmulti-axis構成
AerotechのMPS75SLEは線形エンコーダーによって直接測定のフィードバックの利点を提供する密集した、高性能線形位置の段階である。MPS75SLEは、表面の度量衡学のセンサーのz軸の置く置くか、光学かまたは高精度の直線の適用のための理想的で高精度な段階である。Multi-axis段階構成は他のMPS多数のアダプター ブラケットを使用しておよび回転式段階と線形および全体のMPSの段階家族で固有取付けの両立性容易に組み立てることができる。
Ultra-Precise設計
25 nmに顕著な正確さを、反復性および位置の決断の機能提供するために線形エンコーダーとつながれる精密地面、前もって積まれたball-screw。反クリープの交差ローラー軸受けは密集したパッケージの特別に滑らかな旅行および高負荷容量を提供する。
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