設計特微
大きい旅行フォーマットのナノメーター レベルの性能
高リゾリューション(1 nm)、反復性(75 nm)および正確さ(250 nm)
<1 nmの内部位置の安定性
反クリープの交差ローラー軸受け
高い動的パフォーマンス
導入
AerotechのANT95Lシリーズ段階は25以上のmm旅行の世界の最初ナノメーター レベルの位置方式である。ANT95LおよびANT95L-PLUSの交差ローラーの段階は速度、正確さ、決断、反復性、信頼性およびサイズの結合の最高にクラスで、2つの正確さの等級で提供される。これらの線形段階は5までg加速、500 mm/sの速度、高められた積載量を表わし、構成の広い範囲の使用を可能にするパターンを取付ける標準化された、普遍的な基盤と利用できる。
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