設計特微
必要なふいごは汚染からのドライブを忍耐システム保護し、
高性能スキャンおよび点検のために設計されている
すべてのair-bearingの表面のエア空気前荷
線形エンコーダーのフィードバックはナノメーター レベルを提供する
重負荷および優秀で幾何学的な性能のための高い剛さ
旅行500までのmm
慣習的なball-screwおよび機械軸受け位置方式の機能を越える許容を置く先端の製造の要求。ABL1500-Bは、必要なふいごと、特別に高い剛さおよび優秀で幾何学的な特徴、それらの要求に応じるようにとりわけ設計されていた。
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