設計特微
高性能スキャンおよび点検のために設計されている
すべての空気座面の活動的な空気前荷
線形エンコーダーのフィードバックはsubnanometerの決断を提供する
重負荷および優秀で幾何学的な性能のための高い剛さ
旅行500までのmm
半導体およびデータ記憶工業、慣習的なball-screwおよび機械軸受け位置方式の機能を越える許容を置く要求の先端の製造業、特に。ABL1500空気軸受け段階は、実に活動的な前荷と、特別に高い剛さおよび優秀で幾何学的な特徴それらの要求に応じるようにとりわけ設計されていた。
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