L'EddyCus® TF map 2525 Series acquisisce automaticamente le caratteristiche dei campioni fino a 250 x 250 mm² (10 x 10 pollici) in modalità senza contatto. Dopo il posizionamento manuale del campione, il dispositivo misura e visualizza automaticamente la distribuzione delle proprietà sull'intera area del campione. Le impostazioni di misurazione consentono di scegliere in modo semplice e flessibile tra tempi di misurazione rapidi inferiori a 1 minuto o un'elevata risoluzione di misurazione spaziale di oltre 50.000 punti di misurazione per campione. La mappatura risultante fornisce una visione reale dell'omogeneità e della qualità degli strati trasparenti e non trasparenti o delle lastre di wafer e di metallo. Il dispositivo da banco permette, a seconda della sua configurazione, l'imaging preciso della resistenza del foglio, dello spessore del metallo o della trasparenza ottica.
Highlights
Senza contatto
Misurazione veloce e precisa
Mappatura ad alta risoluzione di film sottili conduttivi
Imaging di substrati fino a 250 x 250 mm (10 x 10 pollici)
Rilevamento dei difetti e analisi del rivestimento
Caratterizzazione anche di strati conduttivi nascosti e incapsulati
Varie funzioni di analisi integrate nel software (ad es. distribuzione della resistenza del foglio, scansioni di linee, analisi di un singolo punto)
Funzioni di salvataggio ed esportazione dei dati di misura
Tipi
La piattaforma del dispositivo è disponibile in diverse configurazioni di sensori, compresi i sensori a correnti parassite per la caratterizzazione elettrica o i sensori per la caratterizzazione ottica. Le varianti delle configurazioni di misurazione prevedono le seguenti opzioni.
Caratteristiche
Tecnologia: correnti parassite senza contatto
Imaging mediante mappatura multipunto
Controllo dell'uniformità dello strato sottile
Controllo di qualità, ingresso e uscita
Area di posizionamento: 300 mm x 270 mm
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