La topografia della superficie e l'analisi e la visualizzazione del movimento dinamico sono fondamentali per testare e sviluppare microstrutture come i dispositivi MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Sono indispensabili per convalidare i calcoli FE, determinare gli effetti di cross-talk e misurare la deformazione superficiale. L'analizzatore di microsistemi MSA-600 è la workstation di misura ottica all-in-one per la caratterizzazione della topografia superficiale e dei movimenti in piano e fuori piano.
Le versioni MSA-600-M/V coprono gamme di frequenza fino a 25 MHz, ideali per MEMS, microfoni MEMS e altri microsistemi. Le versioni MSA-600-X/U coprono la gamma di frequenze alte e altissime fino a 2,5 GHz, perfette per la valutazione di risonatori MEMS HF, dispositivi microacustici come SAW, BAW e altro.
Caratteristiche principali
Stazione di misura ottica all-in-one per microstrutture
Misura della risposta in tempo reale (non è necessaria alcuna post-elaborazione)
Versioni MSA-600-M/V con velocità fino a 25 MHz
Versioni MSA-600-X/U fino a 2,5 GHz
Risoluzione dello spostamento sub-pm senza precedenti
Misura e visualizzazione rapida delle forme di deflessione
Funzionamento semplice e intuitivo
Sistema automatizzato per una facile integrazione nelle stazioni di misura
Opzioni di importazione/esportazione per la validazione del modello FE
L'analizzatore di microsistemi MSA-600 offre una maggiore flessibilità e precisione di misura, adattandosi alle esigenze delle microstrutture di oggi e di domani. L'analizzatore di microsistemi fornisce dati precisi sulla risposta dinamica e statica in 3D che aumentano le prestazioni dei dispositivi e riducono i costi di sviluppo e produzione. In questo modo migliora e accorcia i cicli di progettazione, semplifica la risoluzione dei problemi e migliora la resa.
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