Le vibrazioni degli oggetti reali sono solitamente tridimensionali. Sebbene sia possibile evidenziare direzioni preferenziali, le tolleranze di produzione e altre influenze portano a componenti di movimento anche in altre direzioni spaziali. Con l'analizzatore di microsistemi MSA-100-3D è possibile analizzare il comportamento dinamico del campione in modo integrato, su un'ampia larghezza di banda e in tempo reale. Le componenti di vibrazione in tutte e tre le direzioni spaziali vengono registrate simultaneamente ad alta risoluzione e analizzate come un record di dati integrato. Si ottiene la risoluzione di ampiezza sub-picometrica tipica dei vibrometri laser, indipendentemente dalla direzione di vibrazione.
Caratteristiche principali
Misura delle vibrazioni in tempo reale con un'elevata larghezza di banda fino a 25 MHz
Risoluzione dell'ampiezza sub-picometrica per movimenti fuori piano e in piano
Misure sia a punto singolo che a campo pieno
Il piccolo spot laser di meno di 4 μm consente la massima risoluzione laterale
Grandi distanze di separazione di 38 mm
Compatibile con le comuni stazioni di misura MEMS
Grazie all'elevata risoluzione laterale dovuta a uno spot laser microscopico e alla larghezza di banda in frequenza fino a 25 MHz, il Polytec MSA-100-3D è il dispositivo di misura ideale per la caratterizzazione di sensori e attuatori microelettromeccanici (MEMS), altre microstrutture e campioni biologici. Per la caratterizzazione a tutto campo, l'MSA-100-3D analizza i campioni sull'intera superficie facendo scansionare il campione dal software e rappresentando poi graficamente le forme di deflessione.
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