Software di gestione MeX

di analisidi misuradi taglio

MeX è un pacchetto software indipendente che trasforma qualsiasi SEM con imaging digitale in un vero e proprio dispositivo di metrologia delle superfici. Utilizzando immagini stereoscopiche, il software recupera automaticamente le informazioni 3D e visualizza un dataset 3D molto accurato, denso e robusto che viene poi utilizzato per eseguire indagini metrologiche tracciabili. I risultati sono ottenuti indipendentemente dall'ingrandimento SEM e consentono una metrologia a livelli macro e micro. Non è necessario alcun hardware aggiuntivo per eseguire MeX, può essere utilizzato con qualsiasi SEM. Grazie all'esclusiva routine di autocalibrazione, i dati di calibrazione vengono raffinati automaticamente. In questo modo solo MeX consente di effettuare misurazioni 3D tracciabili a qualsiasi ingrandimento nel SEM. Misura di altezza e rugosità La misurazione del profilo consente il taglio virtuale del campione. L'utente amministratore definisce un percorso sull'immagine e riceve il profilo 3D corrispondente. Le misure di rugosità e contorno sono conformi alle norme internazionali EN ISO 4287/4288. L'analisi del profilo permette anche l’adattamento di primitive quali cerchi, angoli o altro. L'analisi del volume L'analisi del volume calcola il volume dei vuoti e delle sporgenze. L'area di misura è definita direttamente sull'immagine. Il volume è determinato attraverso il calcolo di un modello soap film. Per il confine 3D dell'area selezionata MeX calcola una superficie di copertura che si comporta come una soap film.