Caratteristiche del progetto
asse di ricerca del Aero-cuscinetto; asse di punto del meccanico-cuscinetto
Da asse guidato da lineare doppio di punto
Viaggio a 1,2 metri da 1,2 metri
Risposte lineari dell'interferometro laser o del codificatore
Il AHL9000 è l'ultima aggiunta alla famiglia di Aerotech delle fasi del aero-cuscinetto ed è una scelta eccellente per le applicazioni che richiedono l'equilibratura attenta del prezzo e della prestazione. Questa fase è stata progettata per le applicazioni richiedenti che richiedono la prestazione eccellente di ricerca e di punto. Le applicazioni comprendono l'ispezione del wafer, fabbricazione dello schermo piatto ed ispezione e montaggio ottici.
Progettazione del Ibrido-cuscinetto
L'asse di ricerca di AHL9000 è stato progettato facendo uso della tecnologia collaudata del aero-cuscinetto sviluppata per il cuscinetto planare dell'aria ABL9000. Questo asse usa attivo precarica sia sulle superfici verticali che orizzontali per fornire la rigidezza eccezionale e la prestazione dinamica. Il AHL9000 inoltre approfitta della redditività di un asse sopportante meccanico di punto. La combinazione di queste due tecnologie sopportanti in una fase fornisce un sistema che è ottimizzato per l'operazione di ricerca e di punto.
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