Caratteristiche del progetto
In pieno precarichi su tutte le asce
Da assi y guidate da lineare doppie
Viaggio a 1,2 metri da 1,2 metri
Risposte lineari dell'interferometro laser o del codificatore
Controllo di deviazione della rotta attivo
Aerotech ha una lunga storia di ingegneria e di fabbricazione dei sistemi di moto del rendimento elevato del mondo direttamente rispondere ai bisogni chiave dell'applicazione dei nostri clienti. Questi sforzi hanno contribuito a permettere alle tecnologie chiave in un gran numero di industrie compreso il semiconduttore, medico e militare/aerospaziale. Questi estese storia ed esperienza hanno culminato nello sviluppo della piattaforma di moto del aero-cuscinetto ABL9000. Ha progettato per soddisfare le richieste impegnative del wafer, schermo piatto e l'ispezione ed il montaggio ottici, il ABL9000 fissa le nuove norme della prestazione.
Progettazione del Aero-cuscinetto
Il ABL9000 incorpora un attivo precarica sia sulle superfici verticali che orizzontali. La pressione di sottili pellicole avversaria mantiene la tolleranza nominale sopportante di lacuna. Questa progettazione, oltre alla grande superficie del aero-cuscinetto che distribuisce il carico sopra una grande area, risultati in una fase con rigidezza eccezionale che è ideale per caricamento di contrappeso o pesante.
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