Caratteristiche del progetto
Grande chiara apertura
In pieno precarichi su tutte le asce
Da X e da assi y guidate da lineare doppie
Codificatore lineare senza contatto per alta precisione
ABL3600 l'doppio-asse, la grande apertura, la aperto struttura, fase del aero-cuscinetto risponde ai bisogni unici di microscopia a scansione e di ispezione del wafer e della maschera.
Progettazione e costruzione
La combinazione di cuscinetti di aria di alta rigidezza e da di asce guidate da lineare doppie fornisce ad una fase DI X-Y della aperto struttura le caratteristiche di prestazione eccezionali. Il ABL3600 rappresenta un aggiornamento importante nella prestazione sopra le fasi sopportanti meccaniche tradizionali della aperto struttura.
Come con tutti i sistemi del aero-cuscinetto di Aerotech, le tecniche di fabbricazione private sono usate per produrre le fasi con le caratteristiche geometriche insuperate compreso rettitudine, planarità, il passo, il rotolo e la deviazione della rotta. Il ABL3600 è fabbricato nell'installazione produttiva avanzata di Aerotech ed è lavorato con l'esigenza delle tolleranze che sono unachievable con i metodi convenzionali.
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