Caratteristiche del progetto
Fase DI X-Y di basso profilo integrata del motore lineare
di prestazione livella del nanometro in un grande formato di viaggio
Alta risoluzione (1 nanometro), ripetibilità (75 nanometro) ed accuratezza (250 nanometro)
stabilità di In-posizione di <1 nanometro
cuscinetti del attraversare-rullo di Anti-strisciamento
Alta prestazione dinamica con tecnologia dell'diretto-azionamento
ULTRA opzione del grado di prestazione
Introduzione
Le fasi di serie di ANT130XY offrono della la prestazione livella del nanometro nei viaggi DI X-Y fino a 160 millimetri. La progettazione integrata e lucida fornisce estremamente - un basso profilo di soltanto 85 millimetri. La fase viene con la tecnologia privata del motore dell'diretto-azionamento, i codificatori lineari senza contatto, i limiti, il sistema di gestione di cavo integrato e tre gradi della prestazione.
Progettazione Ultra-precisa della fase
La progettazione di ANT130XY permette gli elementi critici quali ortogonalità, rettitudine e planarità da ottimizzare, con conseguente fase con le tolleranze geometriche eccezionali. La tecnologia dell'diretto-azionamento di Aerotech non ha isteresi o contraccolpo, permettendo al moto accurato e ripetibile della nanometro-scala sia nelle dimensioni di Y che di X. Tutte le opzioni di viaggio (60 millimetri x 60 millimetri, 110 millimetri x 110 millimetri, 160 millimetri x 160 millimetri) vengono con l'altezza di profilo di 85 millimetri. Il sistema di gestione di cavo integrato è progettato per lunga vita e minimizzare le forze di resistenza
---