Caratteristiche del progetto
Fase integrata, di basso profilo, DI X-Y del motore lineare
di prestazione livella del nanometro in un grande formato di viaggio
Alta risoluzione (1 nanometro), ripetibilità (75 nanometro) ed accuratezza (250 nanometro)
stabilità di In-posizione di <1 nanometro
cuscinetti del attraversare-rullo di Anti-strisciamento
Alta prestazione dinamica con tecnologia dell'diretto-azionamento
ULTRA opzione del grado di prestazione
Introduzione
Le fasi di serie della FORMICA di Aerotech sono i primi dei sistemi di posizionamento livelli del nanometro del mondo con un viaggio di più maggior di 25 millimetri. Il attraversare-rullo-cuscinetto di ANT95-XY, il motore lineare, fase di doppio-asse fornisce estremamente - un basso profilo di soltanto 60 millimetri. La fase viene con la tecnologia privata del motore dell'diretto-azionamento, i codificatori lineari senza contatto, i limiti, il sistema di gestione di cavo integrato e tre gradi della prestazione.
Progettazione Ultra-precisa della fase
La progettazione di ANT95XY permette gli elementi critici quali ortogonalità, rettitudine e planarità da ottimizzare, con conseguente fase con le tolleranze geometriche eccezionali. La tecnologia dell'diretto-azionamento di Aerotech non ha isteresi o contraccolpo, permettendo al moto accurato e ripetibile della nanometro-scala sia nelle dimensioni di Y che di X. Entrambe le opzioni di viaggio (25 millimetri di X.25 millimetro e 50 millimetri x 50 millimetri) vengono con l'altezza di profilo di 60 millimetri. Il sistema di gestione di cavo integrato è progettato per lunga vita e minimizzare le forze di resistenza.
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