Caratteristiche del progetto
di prestazione livella del nanometro in un grande formato di viaggio
Alta risoluzione (1 nanometro), ripetibilità (75 nanometro) ed accuratezza (250 nanometro)
stabilità di In-posizione di <1 nanometro
cuscinetti del attraversare-rullo di Anti-strisciamento
Alta prestazione dinamica
Grande selezione - 8 modelli nel viaggio e nell'accuratezza
Le fasi di serie di ANT130L offrono della la prestazione livella del nanometro nei viaggi fino a 160 millimetri. Con il suoi basso profilo e caratteristiche di prestazione eccezionali, il ANT130L è l'ultima soluzione per l'allineamento di alta precisione, l'ispezione, il posizionamento e le stazioni di misura.
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