Caratteristiche del progetto
di prestazione livella del nanometro in un grande formato di viaggio
Alta risoluzione (1 nanometro), ripetibilità (75 nanometro) ed accuratezza (250 nanometro)
stabilità di In-posizione di <1 nanometro
cuscinetti del attraversare-rullo di Anti-strisciamento
Alta prestazione dinamica
Introduzione
Le fasi di serie del ANT95L di Aerotech sono i primi dei sistemi di posizionamento livelli del nanometro del mondo con un viaggio di più maggior di 25 millimetri. Le fasi del attraversare-rullo di ANT95L-PLUS e di ANT95L sono il classe miglirice nella combinazione la velocità, l'accuratezza, la risoluzione, la ripetibilità, l'affidabilità e della dimensione e sono offerte in due gradi di accuratezza. Queste fasi lineari esibiscono fino a 5 accelerazioni di g, una velocità di 500 mm/s, la capacità di carico migliorata e sono disponibili con la base standardizzata e universale che monta i modelli che permettono il loro uso in una vasta gamma di configurazioni.
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