La carte EddyCus® TF 5050 Series est une série de dispositifs d'imagerie sans contact à haute résolution pour l'échantillonnage de zones allant jusqu'à 500 x 500 mm (20 x 20 pouces). L'appareil de paillasse prend automatiquement des mesures à différents points de mesure, généralement avec un pas en X et Y de 1 mm (40 mil) générant des cartographies précises. Le système acquiert à la volée des centaines de mesures par seconde, ce qui permet d'obtenir des images haute résolution contenant jusqu'à 250 000 points de mesure par échantillon. Les appareils de table permettent, en fonction de leur configuration, d'obtenir des images précises de l'épaisseur du métal, de la résistance de la feuille ou de l'anisotropie électrique. Les images des propriétés qui en résultent donnent une idée précise de l'homogénéité des couches et de la densité des défauts et offrent donc une base solide pour l'optimisation des matériaux et des processus. Les applications concernent l'assurance qualité pour les processus de pulvérisation, d'évaporation, d'ALD, de CVD, d'électrodéposition ou de dopage et de recuit.
Points forts
Imagerie sans contact
Rapide et précise
Imagerie haute résolution avec un pas de 1 mm (alternativement 0,25 à 10 mm)
Zones d'échantillonnage de 500 x 500 mm (20 x 20 pouces)
Analyse avancée de l'uniformité des couches et défectoscopie
Caractérisation des couches conductrices cachées et encapsulées
Fonctions d'analyse intégrées dans le logiciel (profils de lignes, analyse d'histogrammes, analyse sélective de zones, statistiques)
Systèmes hybrides (par exemple, imagerie électrique et optique combinée)
Contrôle systématique de la qualité, contrôle à l'entrée, inspection des marchandises sortantes
Types
Les appareils sont proposés avec différentes configurations de capteurs utilisant des capteurs à courants de Foucault de composants optiques.
Caractéristiques
Technologie : capteur à courants de Foucault sans contact
Zone d'échantillonnage : 500 x 500 mm
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