La topographie de surface, l'analyse et la visualisation des mouvements dynamiques sont essentielles pour tester et développer des microstructures telles que les dispositifs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Elles sont indispensables pour valider les calculs FE et mesurer la déformation de la surface. L’analyseur de microstructures MSA-600, station de mesure optique tout-en-un, permet de caractériser la topographie de surface ainsi que les mouvements dans le plan et hors plan.
Les versions MSA-600-M/V couvrent les gammes de fréquences jusqu'à 25 MHz, idéales pour les MEMS comme les microphones MEMS et autres microsystèmes. Les versions MSA-600-X/U couvrent la gamme des hautes et très hautes fréquences jusqu'à 2,5 GHz, parfaite pour la validation des résonateurs MEMS HF, des dispositifs micro-acoustiques tels que SAW, BAW et autres.
Points forts
Station de mesure optique tout-en-un pour les microstructures
Mesures de réponse en temps réel (aucun post-traitement requis)
Versions MSA-600-M/V pour les fréquences jusqu'à 25 MHz
Versions MSA-600-M/V pour les fréquences jusqu'à 2,5 GHz
Résolution de déplacement sub-pm inégalée
Mesure rapide et visualisation des déformées 3D
Fonctionnement simple et intuitif
Système automatisé pour une intégration facile sur stations sous pointes
Options d'importation / exportation pour la validation du modèle FE