Analyseur de matériaux MSA-650 IRIS

de pressionbenchtoppour l'aéronautique

Système d'analyse vibratoire et modale des MEMS encapsulés, Polytec propose son nouvel analyseur de microsystèmes : MSA-650 IRIS. Les analyseurs de microsystèmes MSA Polytec fournissent des mesures optiques rapides et précises des mouvements hors plan (OOP) et dans le plan (IP). Jusqu'à présent, cela a été limité aux composants déballés qui sont optiquement accessibles. Il permet d'effectuer des mesures sur des microstructures comme des centrales inertielles, microphones MEMS, capteurs de pression et plus encore, au-travers des capsules silicium sans modification de votre pièce à mesurer. Points forts Mesure à travers différentes couches de silicium Mesure de réponse hors plan en temps réel jusqu'à 25 MHz (sans post-traitement) Résolution de déplacement hors plan sous-picométrique Validation simple du modèle FE de MEMS à l'état final Séparation supérieure des couches individuelles de l'appareil Microscope vidéo stroboscopique pour mesurer le mouvement dans le plan jusqu'à 2,5 MHz Système automatisé intégrable pour contrôle en production La solution de mesure complète du MSA-650 comprend notamment un contrôleur, un générateur de fonctions avec des voies de référence supplémentaires, un puissant logiciel de balayage optique et une tête optique avec une conception IR sophistiquée. Avec sa caméra IR dédiée et une source SLD à faible cohérence, c'est le premier système de mesure des vibrations plein champ pour capturer des couches entières d'échantillons à travers des capuchons en silicium dans des conditions de fonctionnement.